俄歇電子能譜儀儀器結(jié)構
俄歇電子能譜儀就是利用俄歇電子能譜法進行分析研究的儀器。包括以下幾個主要部分:分析室、樣品臺、電子槍、濺射離子槍、電子能量分析器、電子倍增器、信號處理與記錄系統(tǒng)等。
旋轉(zhuǎn)樣品臺使樣品到位,首先用離子槍對樣品表面進行清洗,清除雜質(zhì),然后用電子槍轟擊,轟擊產(chǎn)生的多種電子經(jīng)過能量分析器的選擇后,只有俄歇電子才被電子倍增器接受,經(jīng)過電腦計算,最終反應到顯示屏中的電子能譜圖上。
電子能量分析器是電子能譜儀的中心部分。由于用電子束照射固體時,將產(chǎn)生大量的二次電子和背散射電子,它們的存在使俄歇電子很難被檢測出來,因此需要使用某種特殊的能量分析器來去除那些電子的干擾。目前的俄歇譜儀大多采用圓筒鏡分析器作為俄歇電子檢測裝置。
筒鏡分析器是由兩個同軸的圓筒形電極構成的靜電反射系統(tǒng)。內(nèi)筒上開由環(huán)狀的電子入口狹縫和出口狹縫,在兩筒之間加一定的電壓。從樣品中激發(fā)的電子以一定角度從入口狹縫進入內(nèi)筒和外筒之間的區(qū)域,調(diào)節(jié)兩筒之間的電壓,使能量滿足一定條件的俄歇電子才能通過出口狹縫,而能量不滿足條件的帶電粒子只會被內(nèi)外筒吸收。
連續(xù)的改變內(nèi)外筒間的電壓,不同能量的俄歇電子的多少就可以依次得到檢測,最終得到電子數(shù)目隨電子能量的分布曲線。轉(zhuǎn)速計| 水份計| 水份儀| 分析儀| 溶氧計| 電導度計| PH計| 酸堿計| 糖度計| 鹽度計| 酸堿度計| 電導計| 水分測定儀