電子能譜分析法
采用電子束或者如X射線和紫外光一樣的單色光源去照射樣品,在一定條件下樣品中某些電子受到激發(fā)并發(fā)射出來。通過測量這些電子的強度和能量,就可以獲得有關(guān)樣品成分、結(jié)構(gòu)的一些信息。我們稱這種通過檢測被激發(fā)電子的能量來分析材料的方法為電子能譜法。
以下僅對俄歇電子能譜法和X射線光電子能譜法作簡要介紹。