固態(tài)型電導(dǎo)測量傳感器

固態(tài)型電導(dǎo)測量傳感器
基于金屬、半導(dǎo)體或電介質(zhì)的電阻（或電導(dǎo)）在被測物存在下發(fā)生變化而進行傳感檢測。
（a）半導(dǎo)體氣體傳感器
　　一些半導(dǎo)體元件在吸附氣體組分后可改變其載流子數(shù)目和阻抗，由此可檢測氣體組分含量。例如：多孔n-型二氧化錫半導(dǎo)體燒結(jié)體（添加鉑或鈀作催化劑）, 其電阻／電導(dǎo)可隨環(huán)境氣體濃度的增加而減小/增大。此一特性可用于氫、一氧化碳、乙醇、甲烷等多種氣體的檢測。此外還可用氧化鋅、γ-三氧化二鐵等其它金屬氧化物作檢測元件。使用氧化鋅，可改善測定的選擇性。
　　這種傳感器不含電解質(zhì)液，不需維護，很少中毒現(xiàn)象，使用壽命長（可達5年～10年或以上）。測定濃度范圍可由10-6級至％級，響應(yīng)時間10～30s（％濃度級）或30～605s（10-6濃度級），工作溫度－40℃至90℃（有的商品傳感器為－10℃ 至45℃），測量準(zhǔn)確度士5％。下表列出美國Mitchell儀器公司1993 / 1994 年產(chǎn)品的測定量程。



（b）金箱化學(xué)電阻器
　　在絕緣底物（玻璃、陶瓷、氧化鋁或石英等）上蒸鍍一層極薄的金膜（厚7.5～40nm，電阻值300～1500Ω），當(dāng)被測物擴散入膜內(nèi)時，因濺散效應(yīng)而使電阻值改變，由此可測l～l000Pg/m3的汞或3×10-9～500×10-9的硫化氫，響應(yīng)時間約13s，水蒸汽、二氧化硫及烴類氣體不干擾。在150℃下熱解吸后可重復(fù)使用。,