電子能譜儀原理及組成

電子能譜儀原理及組成

電子能譜儀是進(jìn)行結(jié)構(gòu)研究的一種儀器。利用一次粒子束作為激發(fā)源激發(fā)出樣品中的二次粒子，研究二次粒子中電子部分能量分布的儀器的總稱(chēng)。若一次粒子束是電子，除激發(fā)出樣品中的二次電子外，本身會(huì)被樣品中的原子或分子所散射，其本身亦可作為測(cè)量對(duì)象。這些電子隨著能量的不同在數(shù)量上有一個(gè)統(tǒng)計(jì)分布，將這個(gè)分布以能量為縱坐標(biāo)，計(jì)數(shù)率為橫坐標(biāo)，即得電子能譜圖。
　　電子能譜儀主要由激發(fā)源、電子能量分析器、探測(cè)電子的監(jiān)測(cè)器和真空系統(tǒng)等幾個(gè)部分組成。