激光粒子計(jì)數(shù)器工作原理
光散亂式粒子計(jì)數(shù)器(采用激光或白光光源)
主要是求出浮游在超凈間等清潔空間中浮游粒子的每個(gè)單位體積的個(gè)數(shù)濃度。從得到的數(shù)據(jù)里可以得出其測試范圍(粒徑通道)的個(gè)數(shù)。
首先粒子計(jì)數(shù)儀由內(nèi)部吸氣泵或外部采樣泵以一定的比例進(jìn)行氣體(一般的超凈間為室內(nèi)空氣)采樣。當(dāng)采樣氣體中的粒子通過光源(激光)等收束的光束時(shí),產(chǎn)生光散亂現(xiàn)象。光散亂通過光電變換器變?yōu)殡娦盘?hào)(脈沖),粒子越大得出該脈沖信號(hào)就越大(波峰值),通過此時(shí)的波峰值和脈沖數(shù)就可得出每個(gè)粒徑的個(gè)數(shù)濃度。即通過測試散亂光的數(shù)量和強(qiáng)度,得出實(shí)時(shí)測試數(shù)據(jù)。
凝聚核法粒子計(jì)數(shù)儀(CNC)工作原理
普通光散亂式粒子計(jì)數(shù)儀無法檢測到超凈間內(nèi)漂浮的0.1um以下的超微粒子。只能采取凝聚核法進(jìn)行測試。采用高溫酒精蒸汽與被測空氣混合達(dá)到過飽和狀態(tài)。超微粒子在過飽和酒精蒸汽氛圍中成為凝聚核,粒子徑增大后即可檢測出來。
CNC具有較高的采樣效率,因而可以在短時(shí)間內(nèi)高效率的檢測到超凈間內(nèi)的粒子濃度。
2、粒子計(jì)數(shù)儀的分類
A、按測試原理分
- 光散亂法測試(白光、激光)
- 顯微鏡法測試
- 稱重法測試
- DMA法測試(粒徑分析儀)
- 慣性法測試
- 擴(kuò)散法測試
- 凝聚核法測試(CNC)等
B、按流量分
- 小流量 0.1cfm(2.83L/min)
- 大流量 1cfm(28.3L/min)
C、按形狀、體積大小分
D、按測試通道分
- 單通道(只測某一種粒子徑)
- 雙通道(測試某兩種粒子徑)
- 多通道(測試多種粒子徑)