電子探針顯微分析儀簡介

電子探針顯微分析儀簡介

電子探針顯微分析儀是電子探針顯微分析儀用電子束轟擊固體樣品表面，并根據(jù)微區(qū)內(nèi)所發(fā)射出的 X射線的波長（或能量）的強度進行元素定性、定量分析的儀器，簡稱電子探針。
　　電子探針顯微分析儀由電子光學系統(tǒng)、試樣臺、光學顯微鏡、 X射線譜儀、電子檢測系統(tǒng)和真空系統(tǒng)等組成。
　　其工作原理是將試樣置于顯微鏡下，選定分析位置，以一束細聚焦強電流的電子束激發(fā)樣品，在直徑為1微米、體積 為1立方微米區(qū)域內(nèi)的不同元素受激發(fā)射出X射線,用波長色散X射線譜儀或能量色散X射線譜儀讀出元素的特征X射線，根據(jù)特征X射線的強度與濃度的比例關系，進行元素的定量分析。
　　其優(yōu)點是：測定元素多（原子序數(shù)4以上的元素），精密度好,絕對檢出限達10^-15克；還適用于幾微米厚的薄層分析和厚度為幾個單分子層的超薄膜分析。對微粒礦物和細小的鑒定，研究內(nèi)部的化學均勻性和元素的地球化學特性，具有重要作用。

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